FLEXI-FLOW气体质量流量计和控制器

新型质量流量测量和控制

FLEXI-FLOW™系列将快速稳定的芯片传感器与可靠准确的旁路技术相结合。紧凑创新型仪表是质量流量测量和控制领域的一次重大飞跃：质量流量测控 #重新定义

• 多参数测量：流量、温度和压力集于一表
• 通过蓝牙和App实现简单安全的连接
• 通过集成气体数据库和实时转换实现更高的精度
• NAMUR状态指示随时掌握流程动态
• 宽量程比，适用多种应用

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FLEXI-FLOW™ Compact 系列包含：

• ‘Built-to-Order (BtO)’质量流量计(MFM)和控制器(MFC)，量程范围 0…5 mln/min 到 0…20 ln/min，量程比1:1000，包含多达8通道的多通道版本。
• ‘Preconfigured Advanced (PA)’ MFCs 8种量程范围 (FS)：5/20/50/200 mln/min 和 0.5/2/5/20 ln/min (N2 当量)，量程比 1:500，流量 + 温度 + 压力
• ‘Preconfigured Standard (PS)’ MFCs 4种量程范围(FS)：0.5/2/5/20 ln/min (N2 当量) ，量程比 1:50，流量 + 温度