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半导体和LED照明产业

最初,热式质量流量计和控制器是在1970年代为半导体制造过程中的气相沉积而开发的。由于市场需求以及在气体、液体和蒸汽输送方面引进新的更好产品的需要,Bronkhorst称为半导体、平板显示器和LED行业的主要供应商。针对化学气相沉积(CVD)、平板显示器喷涂(FPD)和原子层沉积(ALD)工艺,Bronkhorst可为直接液体注入系统提供金属密封流量仪表。

应用案例

  • 切割(激光)前在晶片上沉积保护层
  • 金属有机化学气相沉积(MOCVD)
  • 原子层沉积(ALD)
  • 超临界流体定量给料和控制(如超临界二氧化碳清洗)
  • 平板显示器(FPD)喷涂

应用案例

超临界气体测量与控制

当流体例如二氧化碳(CO2)在气液两相临界区域处,难以测量它们的流量。建议使用科里奥利质量流量计。

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