IQ+FLOW

基于MEMS技术 — 压力计/控制器

设备制造商们寻求紧凑的解决方案来监测或控制其系统中的气体流量或压力。用于分析、生物技术和医疗市场的台式设备需尽量小尺寸，以节省空间。

Bronkhorst与TNO-TPD（应用物理研究所|荷兰）密切合作，开发了IQ⁺FLOW^® 气体质量流量传感器，并设计了微型压力传感器和不锈钢微型阀。得益于MEMS技术，IQ⁺FLOW小流量气体和压力测量控制仪表尺寸大大缩小，为20 x 40 mm。IQ⁺FLOW压力计和控制器可选配介质隔离传感器，以兼容各种流体。

• 最小范围 0.01…0.5 bar 绝压或表压
• 最大范围 0.2…10 bar 绝压或表压

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客户定制化设计

基于 IQ⁺FLOW^® 系列的微系统技术，Bronkhorst可提供紧凑型模块上组合功能模块的可能性。