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IQ+FLOW

气体质量流量计/控制器

基于芯片传感器

 

设备生产商们一直在寻找更紧凑的气体流量和压力测量及控制的方案。先前,传统的质量流量和压力计都需要至少1.5″空间,比如具体到在 NeSSI™ 系统中。如今,Bronkhorst通过与TNO-TPD(荷兰应用物理研究所)紧密合作,开发了一系列高科技的IQ+FLOW® 质量流量传感器。由于采用了纳米技术,使其减少一半的体积,达到 0.75″, 从而满足了市场上对小型紧凑流量和压力控制器的需求。

样册下载 产品列表

特征:

  • 流量处理范围从 0.2…10 mln/min 到 0.1…5 ln/min (满刻度值)
  • 超零点稳定性(由于使用了带热平衡式的芯片传感器)
  • 空间利用率提供
  • 性价比高
  • 超速响应,可低至300 msec
  • 模拟和数字(RS232 / RS485) 通讯

客户指定设计

根据IQ+FLOW® 系列产品的微系统技术,Bronkhorst成功开发紧凑且多功能模块的小流量测量产品。

分析应用实例

以0.75″紧凑型模块为基础的分析应用实例:

  • 气相色谱仪注入端的流量-压力控制
  • 气相色谱仪或高效液相色谱仪监测端的流量控制
  • 火焰离子探测仪的流量控制

更多资料

产品样册
IQ-FLOW Brochure Download

 

使用说明书
Manual IQ-FLOW (from 01-07-2013) Download
Manual IQ-FLOW (till 01-07-2013) Download
Quick installation guide Download
使用说明书 IQ-FLOW Download
快速安装指南  IQ-FLOW Download

 

安装图
Analog I-O RS232 Download
RS232-RS485 Download
RS232-RS485 Analog I-O Download

 

尺寸图
Dimensional drawing IQF-IQP 1-channel in-line Download
Dimensional drawing IQF-IQP RS485 Download