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Application note A002-ST04

玻璃涂层工艺与流量测控

玻璃涂层在于修改其光学特性,提升其太阳能传递特征或者改变其外观。无论是能量控制或者只是建筑要求,玻璃涂层工艺要求严格。

为达到薄膜涂层最高品质标准,工艺气系统必须能够提供高品质的涂层一致性。当大规模的涂层设备在使用,维护的简单化也是一个重要的关注点。布琅钶锶特公司完全理解玻璃涂层工业的需求,因此开发了成熟的方案用以满足大规模玻璃涂层应用的高端要求。

玻璃涂层工艺与流量测控

应用要求

高品质的涂层一致性、高效、低成本是玻璃涂层行业的其中几项要求。通过控制具体工艺气体,薄膜的一致性得以改善。另外,如果控制是通过可以获得稳定流形的仪表完成的,重复性、快速响应以及最优性能就可以达到。

为了降低成本,仪表应当可靠、耐用,24小时/7天不间断工作。

重要议题

  • 重复性
  • 响应时间
  • 可靠性
  • 紧凑型,节省空间

工艺方案

通过精准气体喷溅获得一致性的涂层是一种物理气相沉积(PVD)工艺,其在高压加速下将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上,使得母体具有更好的性能。

喷溅的原子被推进到母体上,在其表面形成薄膜涂层。等离子PVD,与磁子喷溅类似,被认为是最高效的技术。

这个工艺要求使用惰性气体:氩气最为常用,但是有些喷溅工艺采用氧化物或氮化物参与其中;这样的话,氧气、氮气需要加入到惰性喷溅气体。

根据其特性,这个工艺要求低压,但是工艺气体流量需要足够离子轰击发生,否则不可能保持等离子。因此,工艺气体必须精细控制,否则产品品质以及同质性的涂层将大打折扣。

由于其独特的比例电磁控制阀,布琅钶锶特公司质量流量控制器是这一应用的理想选择。可以同时实现超快、平稳控制,卓越的稳定性和重复性。

玻璃涂层工艺与流量测控工艺方案