半导体制造依赖于相当洁净的环境来生产高质量的硅晶圆，这些硅晶圆被广泛应用于电信、游戏和工业电子等领域。在晶圆处理和储存过程中，须避免污染，以保持高产量。前开式晶圆传送盒（Front Opening Universal Pods，简称FOUP）用于临时储存晶圆并在工艺步骤之间进行传输。为了保护晶圆免受湿气、颗粒物和氧气（这些物质会导致氧化并降低导电性）的影响，FOUP会用超高纯度（UHP）氮气或清洁干燥的空气进行吹扫。对这一吹扫过程的精确控制对于保持性能稳定和成本效益相当重要。

工艺方案

Bronkhorst质量流量控制器用于监测和控制前开式晶圆传送盒（FOUP）系统中超高纯氮气或清洁干燥空气的吹扫流量。较旧的晶圆厂通常使用清洁干燥空气，而较新的晶圆厂则更倾向于使用超高纯氮气以增强洁净度。这些控制器能确保精确且稳定的流量，这对于保持晶圆的完整性和防止氧化相当重要。通过集成这些设备，半导体设备供应商可以实现可靠的吹扫性能，优化气体消耗，并保持现代晶圆制造所需的严格标准。