Menu

EL-FLOW METAL SEALED

高纯度气体应用

Bronkhorst金属密封气体质量流量测量仪表和控制器以其独特的、专利全金属密封结构为特征。除此之外,该款流量计还以其高性能、高质量将其与市场上的其它产品区分开来,因此,该款仪器特别适合于半导体产业以及高纯度气体运用场合。质量流量测量仪表和控制器的表体使用的是 1/4″ VCR 连接。

  • 最小流量范围:0.12…6 mln/min
  • 最大流量范围: 1… 50 ln/min

样册下载 产品列表

目前市场上的仪表都内置集成数字电路板,从而使仪表具有高精度、超稳定的温度以及快速的反应时间的特点(可设置的时间从 t98 可以低至500 msec)。最新的EL-FLOW® 设计风格的产品具有多气体/多范围功能,从而为客户(OEM)提供了可选的灵活性以及高效率工艺。为了方便客户,布琅轲锶特高科技公司还提供了免费的且方便运用的配置软件。

特点

  • 高精确度 (标准 0.5% Rd + 0.1% FS)
  • 可进行重复密封的全金属外部密封结构(无密封圈)
  • 电抛光过流部件
  • 无尘组装
  • 多介质/多范围可调节功能
  • 模拟通讯和数字I/O, 可与如下任意集成接口连接:
    DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 或者 FLOW-BUS
  • 无零飘(不需要零点自动调整电路)
  • 高精度、重复性高

更多资料

Brochures
Metal Sealed Mass Flow and Pressure Download

 

Manuals
Quick installation guide EL-FLOW Select Download
Manual EL-FLOW Select (incl. EL-FLOW Metal Sealed) Download

 

Hook-up diagrams
Analog IO – RS232 Download
DeviceNet Download
EtherCAT Download
FLOW-BUS Download
Modbus Download
Optional Bus and IO Configurations Download
PROFIBUS DP Download
PROFINET Download
CANopen Download

EL-FLOW METAL SEALED F-111CM

  • Min. flow 0,12...6 mln/min
  • Max. flow 1... 50 ln/min
  • Pressure rating 100 bar
  • Metal-to-metal outer seals
  • Cleanroom assembled

EL-FLOW METAL SEALED F-201CM

  • Min. flow 0,12...6 mln/min
  • Max. flow 1... 50 ln/min
  • Pressure rating 64 bar
  • Metal-to-metal outer seals
  • Cleanroom assembled