EL-FLOW METAL SEALED
高纯度气体应用
Bronkhorst金属密封气体质量流量计和控制器为全金属密封结构，具有高性能、高质量的特点，适合半导体产业以及高纯度气体运用场合。质量流量计和控制器的表体使用的是 1/4″ VCR 连接。
- 最小流量范围：0.12…6 mln/min
- 最大流量范围： 1… 50 ln/min
EL-FLOW® 产品具有多气体/多范围功能，为客户（OEM）提供可选的灵活性以及高效率工艺。为方便客户使用，Bronkhorst提供免费且便于操作的配置软件。
特点
- 高准确度 (标准 0.5% Rd + 0.1% FS)
- 可进行重复密封的全金属外部密封结构（无密封圈）
- 电抛光过流部件
- 无尘组装
- 多介质/多范围可调节功能
- 模拟通讯和数字I/O, 可与如下任意集成接口连接：
DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 或者 FLOW-BUS - 无零飘（不需要零点自动调整电路）
- 高精度、重复性高
更多资料
| Manuals | |
|---|---|
| Quick installation guide EL-FLOW Select |  |
| Manual EL-FLOW Select (incl. EL-FLOW Metal Sealed) | |
| Hook-up diagrams | |
|---|---|
| Analog IO – RS232 | |
| DeviceNet | |
| EtherCAT | |
| FLOW-BUS | |
| Modbus | |
| Optional Bus and IO Configurations | |
| PROFIBUS DP | |
| PROFINET | |
| CANopen | |
