EL-FLOW 金属密封

高纯度气体应用

Bronkhorst金属密封气体质量流量计和控制器为全金属密封结构，具有高性能、高质量的特点，适合半导体产业以及高纯度气体运用场合。质量流量计和控制器的表体使用的是 1/4″ VCR 连接。

• 最小流量范围：0.12…6 ml_n/min
• 最大流量范围： 1… 50 l_n/min

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EL-FLOW^® 产品具有多气体/多范围功能，为客户（OEM）提供可选的灵活性以及高效率工艺。为方便客户使用，Bronkhorst提供免费且便于操作的配置软件。

特点

• 高准确度 (标准 0.5% Rd + 0.1% FS)
• 可进行重复密封的全金属外部密封结构（无密封圈）
• 电抛光过流部件
• 无尘组装
• 多介质/多范围可调节功能
• 模拟通讯和数字I/O, 可与如下任意集成接口连接：
  DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT^® 或者 FLOW-BUS
• 无零飘（不需要零点自动调整电路）
• 高精度、重复性高

更多资料

产品样册
Metal Sealed Mass Flow and Pressure brochure

使用说明书
Quick installation guide EL-FLOW Select
Manual EL-FLOW Select (incl. EL-FLOW Metal Sealed)
快速安装指南 EL-FLOW Select
使用说明书 EL-FLOW Select

安装图
Analog IO – RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus
Optional Bus and IO Configurations
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen