Application note A058-FP01
微流体中的流量测量
喷墨打印头和芯片实验室是微流体的一大典型:关于微米级直径管道内的液体流动。流体装置通过源于集成电路制造的光刻和其他工艺制造。
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应用要求至少需要五个质量流量计才能覆盖整个测量范围。此外,必须提高测量本身的准确性和可重复性,并且测量应该更加稳定。 |
重要议题
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工艺方案根据客户的需求,Bronkhorst推断ML120 mini CORI-FLOW 质量流量计能够覆盖所需的整个范围。他们建议客户测试ML120流量计,并将结果与目前使用的热式质量流量计进行比较。客户通过两个月的测试来调研ML120仪器是否是解决问题的正确方法。 两个月后,他们得出的结论是科里奥利仪器在精度、稳定性和可重复性方面都有所改进。此外,确实可以用一个基于科里奥利的装置替代五个热式质量流量计,以覆盖相同的范围。他们相信Bronkhorst是非常专业的合作伙伴,并决定在产品系列中集成ML120 mini CORI-FLOW 仪表。 与Bronkhorst的进一步合作是客户为(未来)用户开发用户指南,并为销售工程师提供销售指南。此外,还将执行LabVIEW 中的一些编程工作以与Bronkhorst设备进行通信。 |
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