Application note A058-FP01

微流体中的流量测量

喷墨打印头和芯片实验室是微流体的一大典型：关于微米级直径管道内的液体流动。流体装置通过源于集成电路制造的光刻和其他工艺制造。

与“正常”通道中的流动相比，这些装置中液体的表现会有所不同。由于通道尺寸小，“流体壁”现象起主导作用。微流体装置在制药和生物技术等领域得到应用，减少了化学品的数量和实验时间。一家法国公司生产用于微流体应用的系统。然而，他们发现其应用中的热式质量流量测量太不稳定且无法重复。Bronkhorst提出了使用科里奥利技术的替代解决方案。

应用要求

至少需要五个质量流量计才能覆盖整个测量范围。此外，必须提高测量本身的准确性和可重复性，并且测量应该更加稳定。

重要议题

减少质量流量计使用数量
提高准确性和可重复性
稳定的测量

工艺方案

根据客户的需求，Bronkhorst推断ML120 mini CORI-FLOW 质量流量计能够覆盖所需的整个范围。他们建议客户测试ML120流量计，并将结果与目前使用的热式质量流量计进行比较。客户通过两个月的测试来调研ML120仪器是否是解决问题的正确方法。

两个月后，他们得出的结论是科里奥利仪器在精度、稳定性和可重复性方面都有所改进。此外，确实可以用一个基于科里奥利的装置替代五个热式质量流量计，以覆盖相同的范围。他们相信Bronkhorst是非常专业的合作伙伴，并决定在产品系列中集成ML120 mini CORI-FLOW 仪表。

与Bronkhorst的进一步合作是客户为（未来）用户开发用户指南，并为销售工程师提供销售指南。此外，还将执行LabVIEW 中的一些编程工作以与Bronkhorst设备进行通信。