微型化：微型科里奥利流量计

MEMS（微机电系统）技术

MEMS技术类似于半导体技术，但它应用于传感器和微型机械元件，而不是电子芯片。MEMS广泛应用于安全气囊传感器、喷墨头、压力传感器、麦克风、指南针、加速度计、陀螺仪和时基振荡器。例如，智能手机包含大量MEMS组件，而热流量传感器广泛应用于空调系统。

科里奥利传感器的优势

大多数MEMS流量传感器基于热式测量原理。该传感器可测量每分钟几纳升的液体流量。优点是快速且稳定。缺点是需针对每种特定流体进行校准。科里奥利流量传感器，即包含振荡管的流量传感器，其中质量流量受到科里奥利力的作用，不存在这个问题。科里奥利力与质量流量成正比，测量的是真正的质量流量，不受流体物性影响。

科里奥利流量计主要用于测量大流量（＞１kg/h），因为相对微弱的科里奥利力相应地更难监测小流量。为了获得足够的灵敏度来测量２g/h以下的小流量，需将传感器尺寸和管壁厚度降至最小，不锈钢传统加工无法实现。

MEMS技术在这里发挥作用。我们与Twente大学密切合作开发一种称为“表面通道技术”的工艺，可制造具有１微米薄氮化硅壁的管材。材料的选择使这些管材即使在很薄的壁厚下也可保持机械稳定性。