液体供应-使用泵

为了确保流量控制器具有稳定（超）小液体流量，高度稳定的入口压力是先决条件。使用压力容器产生稳定的小流量液体时，需要解决液体中存在溶解气体的问题。如果防止气体溶解在液体中很重要，使用泵来产生入口压力是不错的选择。

齿轮泵或活塞泵

容积式泵（齿轮泵或活塞泵）可用于为流量控制器提供必要的入口压力。在齿轮泵中，旋转齿轮的互锁齿之间的固定液体体积反复移位以产生流动，而在活塞中，在活塞填充和排空固体体积的后续冲程中产生液体流动。小型泵更受欢迎，因为内部容积较小的泵可以缩短系统的填充和刷新时间。无论选择哪种类型的泵，都需确保接液的泵材质与所处理的液体兼容。由于齿轮泵中相关的排量固定液体体积通常小于活塞泵，如果客户希望稳定控制小流量液体，推荐齿轮泵。齿轮泵最大工作压力10-15 bar。活塞泵可处理更大压力，从几十巴到一百多巴，这是小流量应用中经常出现的工艺条件。

Bronkhorst使用双活塞泵相位移动180°，产生稳定的压力/流量输送，这对小流量范围很重要。是否足够准确决于客户的应用过程。准确计量的液体所需量由于泵送原理，将以小脉冲的形式剂量。当工艺体积足够大时，将有足够的混合能力来平衡脉冲。如果您希望在短时间内均匀剂量，活塞泵设置不太理想，齿轮泵更推荐。