Menu

质量流量控制器出现偏差要如何解决?

质量流量计是一种准确测量气体流量的仪器,其测量值不会因温度或压力的波动而不准确,不需要温度和压力的补偿。热流量开关热导流量开关。质量流量控制器(MFC)有一个气体流量调节阀,可以通过控制器的流量从零调节到测量的全程。在工作过程中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,如果压差低于低值(0.1MPa),如果高于最高值(0.3),控制可能达不到满量程值;MPa),关闭时流量可能不小于2%F.S。当用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,MFC进气和出气两端的压差都应保持在所需的压差范围内,气压应相对稳定。那么质量流量控制器出现偏差要如何解决,下面质量流量控制器的小编就来给大家简单的介绍下。

质量流量控制器出现流量偏差的解决方法:

1、检查质量流量控制器的连接是否正确,检查控制器的接线是否正确;

2、检查质量流量控制器是否有故障,如有故障可以更换新的质量流量控制器;

3、检查质量流量控制器的参数设置是否正确,如果不正确,需要重新设置参数;

4、检查质量流量控制器的传感器是否安装正确,如果不正确,需要重新安装传感器;

5、检查质量流量控制器的控制算法是否正确,如果不正确,需要重新调整控制算法。

返回首页