质量流量控制器出现偏差要如何解决？

质量流量计是一种精确测量气体流量的仪器，其测量值不会因温度或压力的波动而不准确，不需要温度和压力的补偿。热流量开关热导流量开关。质量流量控制器(MFC)有一个气体流量调节阀，可以通过控制器的流量从零调节到测量的全程。在工作过程中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1～0.3MPa，如果压差低于低值(0.1MPa)，如果高于最高值(0.3)，控制可能达不到满量程值；MPa)，关闭时流量可能不小于2%F.S。当用户使用MFC时，无论用户工作的反应室是真空还是高压，MFC进气和出气两端的压差都应保持在所需的压差范围内，气压应相对稳定。那么质量流量控制器出现偏差要如何解决，下面质量流量控制器的小编就来给大家简单的介绍下。

质量流量控制器出现流量偏差的解决方法：

1、检查质量流量控制器的连接是否正确，检查控制器的接线是否正确；

2、检查质量流量控制器是否有故障，如有故障可以更换新的质量流量控制器；

3、检查质量流量控制器的参数设置是否正确，如果不正确，需要重新设置参数；

4、检查质量流量控制器的传感器是否安装正确，如果不正确，需要重新安装传感器；

5、检查质量流量控制器的控制算法是否正确，如果不正确，需要重新调整控制算法。

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