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分析仪表的稳定气体质量流量控制器

气体质量流量控制器是质谱、色谱和燃烧分析等分析技术的关键部件。例如作为ICP-MS装置的一部分,紧凑型气体流量仪表用于向反应单元供气。

FLEXI-FLOW气体质量流量计适合此类要求严格的稳定气体流量控制、紧凑型、短期和长期稳定以及与使用气体兼容的过程。

应用要求

在许多分析应用中,一个常见的因素是需要微小的稳定气流(流量范围:1-1000 mln/min),因为气流及其变化在测量中是直接可见的,气流稳定很重要。在数据表上,需要短期重复性和控制稳定性,以及多年使用的长期稳定性。当气体切换时,小流量下的控制响应时间变得非常重要,这要求气体供应系统的内部体积较小。随着实验室空间变得越来越昂贵,台式仪表流量计的紧凑性也是一个值得考虑的问题。

工艺方案

广泛的气体兼容性

FLEXI-FLOW气体质量流量控制器是一款适用于各种不同气体类型的仪表,适用于较小气体流量例如1-1000 mln/min的工艺气体和高达20 ln/min的冷却气体(例如氩或氮)的分析仪器。

可重复长期稳定流量控制

在分析设备中,载气流量直接影响测量结果。例如一种物质在色谱柱中的保留时间直接取决于流体的稳定性。当流量波动时,测量也会波动。FLEXI-FLOW具有短期和长期控制稳定性,一年后的性能和今天一样。

小流量气体快速切换

FLEXI-FLOW可在不同气体之间快速切换,这是ICP-MS装置中反应器供气的重要功能。

在反应器中,使不需要的化合物与额外的气体反应以消除它们。然后需要切换气体。测量1~10 mln/min的小流量时,切换时间与质量流量控制器内部体积相关。由于FLEXI-FLOW非常紧凑,因此响应时间快于几秒。

紧凑型

FLEXI-FLOW 的小尺寸使其成为小型台式分析仪器的理想设备。

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