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质量流量计 / 质量流量控制器的使用方面注意事项

(1)注意阅读产品说明书及有关资料
(2)注意系统设计
  用户购买MFM/MFC后,往往要组建一个系统。建议在系统设计时,不要仅仅考虑功能的实现,还要考虑系统的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易维护性﹑易扩充性等因素。以下给出几点具体建议:
  A.对于反应系统,建议在MFC的出气端加装单向阀,以防止异常情况下反应物倒流损坏 MFC。
  B.对于高压系统,应在MFC的下游加装背压阀(或其它节流装置)及压力表,以便于保证MFC的工作压差。
  C.注意加装过滤器,以净化气源,延长MFM/MFC的使用寿命。
  D.对于硅烷这样的遇空气易形成结晶的气体,应特别注意系统的密闭性(检漏时不要忽视减 压器),必要时设计吹洗旁路,随时进行氮气吹洗或正压保持。
  E.有高频源的系统应注意屏蔽并特别注意处理好接地问题,例如采用单点接地。
  F.对于高真空系统,注意气路接头尽量减少并采用VCR等接头。
  G.MFM/MFC的安装位置应易于装卸﹑检测﹑调零,并安全可靠。
  H.对可靠性要求极高的系统,应注意冗余设计。
(3)注意正确使用操作
  对于比较复杂的系统或使用特殊气体的系统,应当建立自己的操作规程。
(4)注意轻拿轻放妥善保管
  质量流量计 / 质量流量控制器精密,应避免受到撞击和振动。产品不用时注意放在较好的环境中妥善保管。
(5)注意定期标定
  原则上应当定期标定。
(6)注意使用气体与流量计的密封材料相适应
  质量流量计通常采用的密封材料是氟橡胶,能适合大多数气体的使用,包括HCL这样的强腐蚀性气体。但对于氨气,必须使用耐氨橡胶;对于有机溶剂类气体,如丙酮、甲苯等,必须使用硅橡胶;对于使用三氯化硼、三溴化硼等强腐蚀性介质,必须使用四氟密封或金属密封的流量计。用户在订货和使用中必须特别注意。
(7)注意保证MFC的工作压差
  即保证MFC进气端和出气端的压力差在其指标范围之内。常压系统好保证,一般只要使用减压器即可;高压系统中一般要通过减压器和背压阀的结合使用来保证。

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