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什么情况下用质量流量控制器

一般而言,仅对流量进行计量或监测时,用质量流量计;需要对流量进行控制时,用质量流量控制器。某些测量场合,用二者皆可,但质量流量控制器更好用。例如,后面讲到的测量小孔直径﹑阀门泄漏量﹑工件(如毛细管)流通量等。
质量流量计 / 质量流量控制器的主要优点是什么?
(1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准,对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计 / 质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
(2)测量控制的自动化  质量流量计 / 质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。
(3)精确地定量控制流量  质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4)适用范围宽  有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品最小流量范围可达0~5 SCCM,最大流量范围可达0~250SLM。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,因此在很多领域得到应用。
(5)准确度高﹑重复性好  我们的产品准确度可达±2%F.S.或±1%F.S.,重复性为±0.2%F.S.。
(6)质量流量控制器体积小巧﹑安装方便﹑操作简单

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