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质量流量控制器市场现状

质量流量控制器,其原理是利用气流流过毛细管造成毛细管上下游温差从而检测、控制气体质量流量。质量流量控制器可以对气体质量流量做精密控制。其作用是精确的控制进入腔体的载气和反应气体的单位时间内的流量,达成反应需要的混成比例。
质量流量控制器从产量上看,全球质量流量控制器的主要生产商集中在欧洲,美国和日本。随着国内经济的产业升级政策的大力推进,客户对热式质量流量控制器提出了更多的质量要求和更高的技术指标,规格和功能变化越来越多样化。热式质量流量控制器企业应该积极改进产品质量,从而使自身产品具有市场吸引力。
从产品类型的角度来看,质量流量控制器主要分为数字式和模拟式。
1.数字式
相对模拟MFC的单一控制方式来说,数字MFC控制更加灵活,这也就使数字MFC可以更加方便的加入一些用户有用的功能,比如多气体多量程,延迟,软启动等。
2.模拟式
模拟质量流量控制器的输入输出信号为模拟电压或模拟电流,是一种连续的电信号。
在应用方面,质量流量控制器可以对气体质量流量做精密控制。其作用是精确的控制进入腔体的载气和反应气体的单位时间内的流量,达成反应需要的混成比例,从而保证在晶圆等表面生成需要的分布均衡和品质稳定的成分膜。目前,半导体制造、FPD行业以及真空镀膜领域都对质量流量控制器有巨大的需求。

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