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如何正确操作气体质量流量控制器

开机前用电缆线将质量流量计和流量显示仪连接。信号的来源可选择内部和外部,选择设定信号来源的接口设在流量显示仪的后面板上。如果将设定端子与内设相连时,从流量显示仪上获得设定信号。如果从其他设备上得到设定信号,则需要将信号源与设定相连接。

接通电源后,先预热15 分钟,再通气工作,以保证测量的准确度。LF系列气体质量流量控制器切忌液体和油污,不能使用在液体介质中工作,只能使用在气体工作介质中。且气体必须是洁净、干燥的,没有微粒和潮气。否则,须在气路中加装过滤器、干燥器等,使之符合要求。要注意保持控制器的气路洁净,一旦被污染,将严重影响产品的准确度。

若流量设定使用外部信号,应将设定选择开关打至“外”,并从显示仪上的外控信号插座接入设定信号 和“0 电平”(信号地)上即可。也可直接与计算机的D/A 转换器连接,实现自动控制。注意,流量设定的输入阻抗大于10KΩ。若用户检测流量输出信号时,将线引至外控信号插座的“流量检测”和“0 电平”线上即可,也可直接与计算机的模数转换器连接,5.00vdc输出电压或者20mA输出电流对应MFC 满量程额定流量值。注意,流量检测输出电流负载能力不得大于3mA。当阀开关置于“阀控”位时,此时可通过“设定信号”正常控制气体质量流量。在LF-SXV系列流量显示仪上,确保打“阀控”位置,即阀控线悬空时,此时也可通过外控信号插座上的“阀控制”线控制阀门。阀控线接+15V 时,阀门关闭;阀控线接-15V 时,处于清洗状态;阀控线悬空时,阀门处于自动控制状态。

关机断电源后,气流自动截止。推荐先关气,后断电源。平时注意规范操作,能很好的延长气体质量流量控制器使用寿命。

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