MFC是带有控制气体质量流量的装置

热式气体质量流量控制器简称MFC，热式气体质量流量计简称MFM，MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置。

Bronkhorst专业研制热式质量流量计和控制器，种类齐全，范围广泛。可为实验室、设备、工业和危险区域的应用提供多种标准和定制仪器。量程范围 从 0.014 mln/min 到 11000 m3n/h (等量N2)。独特的（超）小流量科里奥利质量流量计和流量控制器不受流体特性影响，既可用于气体，也可以用于液体。

目前国内使用较为广泛的是热式气体质量流量控制器即MFC，热式气体质量流量控制器的主要原理是：在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。

EL-FLOW Prestige 质量流量计/控制器的控制性能在出厂时已调整好以便根据设定值的变化而迅速做出反应，不会超调。而且，本新型产品对机械冲击和压力波动具有很高的耐受性。该流量控制器可根据客户对于过程控制的要求而选择更快响应速度(500 msec)或更平稳的控制。通过软件FlowTune或FlowPlot™来设定控制器的响应速度，现场的动态调整就变得非常简单。此免费软件工具也可以用于设备诊断或报警和计数功能设置。

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