使用质量流量计／质量流量控制器应注意的问题

1、使用质量流量计／质量流量控制器应注意的问题

（1）被测气体需要清洁。

注意不要造成气路堵塞，当质量流量控制器出现某些故障，或气源不洁导致传感器或分流器堵塞，或因操作失误，均有可能造成堵塞。对于的用户而言，应当特别给以注意，既要选择合适的型号，又要正确进行系统设计和正确使用。

（2）一般以氮气（N2）来标定,如用其 他气体时需要进行换算。

2、区分使用质量流量计和质量流量控制器的场合

一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，但质量流量控制器更好用。

3、不同气体的质量流量的换算

产品出厂一般是按氮气标定、按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体，当流量检测值相同时， 实际的流量值可能不同。我们在说明书中可见给出了不同气体       相对于标定气体（氮气）的质量流量转换系数。如果您使用的产品是标准出厂产品（按氮气标定显示），而需要知道实际使用气体的质量流量时，先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中，在此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量；反之，在确定所购产品的量程时， 以实际使用气体的最大期望流量值除以转换系数，即是相应的氮气标定产品的流量值。空气、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等气体，其转换系数约为1.0，一般可直接用按氮气标定显示的产品，不必换算。

4、质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，在工作的过程当中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1～0.3MPa，若压差低于最低值(0.1?MPa)，有可能控制达不到满量程值;若高于最高值(0.3MPa)，有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时，无论用户工作的反应室是真空还是高压，应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内，并且要求气压要相对稳定。

5、使用挥发性液体蒸发汽，气压很低，如何定制质量流量控制器的低压降产品?

部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源(如用丙酮等)，气压很低，用普通MFC，不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明，定制低压降的质量流量控制器。 通常可定制工作压差低于0.01MPa的MFC，这时MFC的工作压差范围，也会变小。注意使用挥发性液体蒸发汽时，不能让汽化物在MFC中结露，结露会影响MFC的正常工作。为防结露，可以对管路和MFC适当加温，但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上，需要特殊购买高温产品。

6、质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗？如何选择密封材料？

质量流量控制器可以用于控制各种气体，包括腐蚀性气体和特殊气体，但是要注意，对于使用腐蚀性气体和特殊气体，需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时，需要向供货厂商特殊声明使用气体，以免因为选型或选择密封材料错误，造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。

采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体，包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。由于金属密封的MFC价格较高，通常要求不高的场合，均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明，MFC都采用氟橡胶密封，可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体，例如可以用于氯化氢等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体，需要采用特种橡胶。氨气—需要采用耐氨橡胶，如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;有机溶剂汽氛(丙酮、甲苯等)—需要采用硅橡胶;三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等—需要采用全氟橡胶。

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