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使用质量流量计/质量流量控制器应注意的问题

1、使用质量流量计/质量流量控制器应注意的问题

(1)被测气体需要清洁。

注意不要造成气路堵塞,当质量流量控制器出现某些故障,或气源不洁导致传感器或分流器堵塞,或因操作失误,均有可能造成堵塞。对于的用户而言,应当特别给以注意,既要选择合适的型号,又要正确进行系统设计和正确使用。

(2)一般以氮气(N2)来标定,如用其 他气体时需要进行换算。

2、区分使用质量流量计和质量流量控制器的场合

一般而言,仅对流量进行计量或监测时,用质量流量计;需要对流量进行控制时,用质量流量控制器。某些测量场合,用二者皆可,但质量流量控制器更好用。

3、不同气体的质量流量的换算

产品出厂一般是按氮气标定、按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体,当流量检测值相同时, 实际的流量值可能不同。我们在说明书中可见给出了不同气体       相对于标定气体(氮气)的质量流量转换系数。如果您使用的产品是标准出厂产品(按氮气标定显示),而需要知道实际使用气体的质量流量时,先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中,在此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量;反之,在确定所购产品的量程时, 以实际使用气体的最大期望流量值除以转换系数,即是相应的氮气标定产品的流量值。空气、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等气体,其转换系数约为1.0,一般可直接用按氮气标定显示的产品,不必换算。

4、质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,若压差低于最低值(0.1?MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于最高值(0.3MPa),有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定。

5、使用挥发性液体蒸发汽,气压很低,如何定制质量流量控制器的低压降产品?

部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源(如用丙酮等),气压很低,用普通MFC,不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明,定制低压降的质量流量控制器。 通常可定制工作压差低于0.01MPa的MFC,这时MFC的工作压差范围,也会变小。注意使用挥发性液体蒸发汽时,不能让汽化物在MFC中结露,结露会影响MFC的正常工作。为防结露,可以对管路和MFC适当加温,但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上,需要特殊购买高温产品。

6、质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗?如何选择密封材料?

质量流量控制器可以用于控制各种气体,包括腐蚀性气体和特殊气体,但是要注意,对于使用腐蚀性气体和特殊气体,需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时,需要向供货厂商特殊声明使用气体,以免因为选型或选择密封材料错误,造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等,密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。

采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议最好采用金属密封的MFC。由于金属密封的MFC价格较高,通常要求不高的场合,均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明,MFC都采用氟橡胶密封,可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体,例如可以用于氯化氢等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体,需要采用特种橡胶。氨气—需要采用耐氨橡胶,如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;有机溶剂汽氛(丙酮、甲苯等)—需要采用硅橡胶;三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等—需要采用全氟橡胶。

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