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气体质量流量计(MFC)和质量流量控制器(MFM)

1、 质量流量计,质量流量控制器的概念

质量流量计,即Mass Flow Meter (MFM),是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。

质量流量控制器,即Mass Flow Controller (MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机连接自动控制的气体稳流装置。

简单来说,质量流量计只测量不控制。而质量流量控制器,则带有控制阀门,既可以测量也可以控制气体流量大小。

2、 质量流量计,质量流量控制器的流量单位

气体质量流量单位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)和SLM (Standard Liter per Minute) 来表示,亦即每分钟标准毫升、每分钟标准升。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是SCCM、SLM不同于Ml/min、L/min之处。

如果需要单位时间内流过的质量(如g/min),可以查阅标准状态下的气体密度,然后作乘法就可以了。

3、质量流量计/质量流量控制器的主要的优点

(1) 直接测量气体的质量流量

热式质量流量计直接测量流体质量流量,输出质量流量信号,无需其他设备,如温度测试仪和压力表,也无需进行换算。

(2) 无可移动部分

本身无类似转轴等的移动部件,增加了本身的可靠性,无需机械维护。

(3) 可以精确的测量微小流量,采用分流装置,又可以测量大流量,而且温度,压力范围很大。

(4) 测量控制的自动化

质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示,流量自动计量,数据自动记录,计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常,?模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA,?数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,?能非常方便地与计算机连接,?进行自动控制。

(5) 精确地定量控制流量

质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制,是用于对于不同气体的比例控制等。

(6) 准确度高,重复性好

准确度可达+-1%F.S(full scale)重复性为+-0.25%F.S(full scale)

(7) 体积小巧,安装方便,操作简单

(8) 技术先进,符合发展潮流

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