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层流压差质量流量计的发展趋势

高端制造业的发展,流体测控已经是各个制造工艺流程中比较核心的一项技术了。特别是在低压气体测控行业,每年的需求增长率在30%以上,特别是在中美贸易战后,像半导体、新能源、医疗科技等高端制造业开始快速发展,各个研究机构、行业领头人都开始了各类关键技术以及装备的研发,这也将推动国内质量流量计技术的发展。

还有另外一个问题,提到质量流量计,提到半导体,我们想到的都是BronkHorst、Brooks、Horiba等国外著名品牌。曾经在上海展会上遇到过一个做质量流量计的客户,在提到层流压差质量流量计时,他摆了摆手说,“层流压差质量流量计应用太窄,做不了半导体。”不管是我们上面提到的国外的BronkHorst、Horiba,还是国内的七星华创,他们最初走的确实是热式原理的技术路线。所以很多人就想当然认为,层流压差质量流量计在半导体等高端制造领域无法应用。

但是真的就是这样吗?我们先从做质量流量计的厂家开始看,热式质量流量计的厂家包括Brooks、MKS、Horiba、Bronkhost、vogtlin、Burkert、kofloc、Fujikin、北京七星华创、厚礼博,层流压差质量流量计目前的生产厂家就只有Alicat和陕西易度,确实这样从市场占有率上来看,热式质量流量计占有率是非常高的,不能否认的是,这些国外热式质量流量计厂家向我们国家出口的质量流量计确实是热式原理的。

热式质量流量计的厂家早已经开始研发层流压差原理的质量流量计了,质量流量计就是大量用于半导体设备上。热式流量计的的发展已经有很长一段时间了,这导致热式质量流量计已经发展到一个极限,要想做出突破已经很难了,而层流压差质量流量计是一条全新的技术路线,在部分性能上较热式质量流量计也有很明显的优势,所以层流压差质量流量计的发展未来可期,肯定会借乘半导体以及新能源技术的快速发展而迅速崛起!

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