层流压差质量流量计原理与运用

层流压差质量流量计是基于哈根泊肃叶定律设计的，该定律描述了在温度、管径等参数一定的情况下，圆管内的不可压缩流体是层流运动状态时，体积流量与压降线性相关。通过读取层流元件两端的压差信号，计算出体积流量，再对该体积流量进行压力和温度修正，从而获得标准体积流量和质量流量。

层流压差质量流量计的应用：

1、精密部件的密封性测试和尺寸精密测量

用于阀门等机械构件气密性指标的气体泄漏量精密测量，以及小孔尺寸和过滤材料透气性等的测量。

2、化工石油等流程工业

用于微型反映试验装置中微小气体流量的测量和控制。

3、表面处理

用于真空镀膜、汽车玻璃镀膜、自动化喷漆、等离子体喷涂中气体的精密测量和控制。

由于层流压差质量流量计可以应用于低压气体以及低压液体的测量和控制，性能比较突出，因此在高端制造业中应用非常广泛。

4、半导体行业

用于扩散、氧化、外延、等离子刻蚀、溅射、气相沉积等工艺设备中，测量和控制工艺气体流量。

5、食品、生物行业

用于生产过程中的灭菌工艺、配料、配气、排气检测及生物反应器等流量测控。

6、分析仪器采样器测量

用于气相色谱仪和环境保护等分析仪器气体取样量或大气采集量的精密测量。

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